Serielles Co-Sputtern : Entwicklung einer flexiblen Beschichtungstechnologie und deren Charakterisierung am Beispiel der Ratenerhöhung von Metalloxiden durch Co-Dotierung

Aachen / Publikationsserver der RWTH Aachen University (2011) [Dissertation / PhD Thesis]

Page(s): V, 176, I-XXI, S. : Ill., graph. Darst.

Authors

Selected Authors

Austgen, Michael

Identifier

  • URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-38585
  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-143069