Auslegung und Charakterisierung einer Nanostrukturierungsanlage für den extrem-ultravioletten Strahlungsbereich

Aachen (2018, 2019) [Dissertation / PhD Thesis]

Page(s): 1 Online-Ressource (III, 239 Seiten) : Illustrationen, Diagramme

Authors

Selected Authors

Brose, Sascha Manuel

Identifier

  • REPORT NUMBER: RWTH-2019-02641