Serielles Co-Sputtern : Entwicklung einer flexiblen Beschichtungstechnologie und deren Charakterisierung am Beispiel der Ratenerhöhung von Metalloxiden durch Co-Dotierung

Aachen / Publikationsserver der RWTH Aachen University (2011) [Doktorarbeit]

Seite(n): V, 176, I-XXI, S. : Ill., graph. Darst.

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Austgen, Michael

Identifikationsnummern

  • URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-38585
  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-143069