Structural and optical properties of thin zirconium oxide films prepared by reactive direct current magnetron sputtering

Melville, NY / IOP Publ. (2002) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of applied physics
Band: 92
Ausgabe: 7
Seite(n): 3599-3607

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Venkataraj, S.
Kappertz, Oliver
Weis, Hansjörg
Drese, Robert Jens
Jayavel, R.

Weitere Autorinnen und Autoren

Wuttig, Matthias

Identifikationsnummern