The effect of the backscattered energetic atoms on the stress generation and the surface morphology of reactively sputtered vanadium nitride films

Amsterdam [u.a.] / Elsevier (2008) [Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel]

Thin solid films
Band: 516
Ausgabe: 14
Seite(n): 4568-4573

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Sarakinos, Konstantinos
Alami, Jones
Severin, Daniel
Karimi, Patrick Mwangi
Wuttig, Matthias

Identifikationsnummern