Influence of nitrogen content on properties of direct current sputtered TiOxNy films

Berlin / Wiley-VCH (2004) [Fachzeitschriftenartikel]

Physica status solidi / A, Applications and materials science
Band: 201
Ausgabe: 1
Seite(n): 90-102

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Mohamed, S. H.
Kappertz, Oliver
Ngaruiya, J. M.
Niemeier, T.
Drese, Robert Jens

Weitere Autorinnen und Autoren

Detemple, Ralf
Wakkad, M. M.
Wuttig, Matthias

Identifikationsnummern