Auslegung und Charakterisierung einer Nanostrukturierungsanlage für den extrem-ultravioletten Strahlungsbereich

Aachen (2018, 2019) [Doktorarbeit]

Seite(n): 1 Online-Ressource (III, 239 Seiten) : Illustrationen, Diagramme

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Brose, Sascha Manuel

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-2019-02641